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8711型
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8711型

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参数

  类型 8711 - 气体质量流量控制器 (MFC)

  类型描述

  8711 型质量流量控制器 (MFC) 适合在大流量范围内对气体进行质量流量控制。直接位于气流中的热 MEMS 传感器可以实现极高速度的响应。一个直动式 Bürkert 比例阀作为执行元件,确保了良好的响应灵敏度。集成 PI 控制器,令 MFC 具备卓越的控制特性。8711 型设备可以针对两种不同的气体进行校准,用户可以在两者之间进行切换。作为电气接口,既提供模拟标准信号,也提供现场总线。8711 型质量流量控制器适合多样化应用,例如燃烧器控制、热处理、材料涂层、生物反应堆、燃料电池技术或者试验台。

  ● 标称流量范围:0.010 lN/min 至 80 lN/min

  ● 测量精度和重复性高

  ● 调控速度特别快

  ● 选配:现场总线接口

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