8711 - 气体质量流量控制器 (MFC)

类型描述

8711 型质量流量控制器 (MFC) 适合在大流量范围内对气体进行质量流量控制。直接位于气流中的热 MEMS 传感器可以实现极高速度的响应。一个直动式 Bürkert 比例阀作为执行元件，确保了良好的响应灵敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具备卓越的控制特性。8711 型设备可以针对两种不同的气体进行校准，用户可以在两者之间进行切换。作为电气接口，既提供模拟标准信号，也提供现场总线。8711 型质量流量控制器适合多样化应用，例如燃烧器控制、热处理、材料涂层、生物反应堆、燃料电池技术或者试验台。

•标称流量范围：0.010 lN/min 至 80 lN/min

•测量精度和重复性高

•调控速度特别快

•选配：现场总线接口